X射線熒光光譜儀采用熒光光譜分析技術(shù)，在地質(zhì)、冶金、材料、環(huán)境等無機分析領域得到了廣泛的使用。與X射線熒光光譜相關的分析技術(shù)，如同步輻射XRF、全反射XRF光譜技術(shù)等，在痕量和超痕量分析中發(fā)揮著重要的作用。

　　X射線熒光光譜儀性能優(yōu)勢明顯，集合了多年ROHS檢測經(jīng)驗，對六種有害元素尤其是Br、Cl等鹵素進行了優(yōu)化，模塊化的功能設計理念便于應對指令進行、檢測元素內(nèi)容的升級。全光路射線防護系統(tǒng)配合三重安全防護設計，同時采用軟硬件雙重安全連鎖，確保輻射安全性能。

　　X射線熒光光譜儀有波長色散法和能量色散法兩種類型，波長色散X射線熒光光譜儀還可進一步分為順序型（掃描型）、多元素同時分析型（多道）譜儀和固定道與順序型相結(jié)合的譜儀三大類。三者適用范圍各有千秋，順序型適用于科研及多用途工作，多道譜儀則適用于相對固定組成和批量試樣分析，固定道與順序式相結(jié)合則結(jié)合了兩者的優(yōu)點。

　　能量色散X射線熒光光譜儀的基本運作為：來自試樣的X射線熒光依次被半導體檢測器檢測得到一系列幅度與光子能量呈正比的脈沖，經(jīng)放大器放大后送到多道脈沖幅度分析器上。按脈沖幅度的大小分別統(tǒng)計脈沖數(shù)，脈沖幅度可以用光子的能量來標度從而得到強度隨光子能量分布的曲線，即能譜圖。

　　與波長色散法相比，能量色散法X射線熒光光譜儀的主要優(yōu)點是：

　　1、由于不需要晶體及測角儀系統(tǒng)，檢測器的位置可以緊接樣品位置，接收幅度的立體角增大，檢測靈敏度可提高2~3個數(shù)量級。

　　2、不存在高次衍射譜線的干擾，可以一次同時測定樣品中幾乎所有的元素，分析物件不受限制。

　　3、能量色散X射線熒光光譜儀已發(fā)展成系列儀器，有便攜式或在線型、臺式和通用的高性能譜儀等三種類型。類型區(qū)分主要以譜儀分辨率為基準。

　　4、儀器操作簡便，分析速度快，適合現(xiàn)場分析。

　　5、結(jié)構(gòu)緊湊，安裝、使用和維修均很方便。特別是以封閉式正比計數(shù)管為探測器的譜儀，其價格便宜、重量輕、可靠，能在惡劣環(huán)境下工作，因此廣泛用作現(xiàn)場或在線式譜儀。